产品基于氮化铝陶瓷基板(AIN),采用活性金属钎焊(AMB)工艺生产。可作为高导热性基板材料,应用于功率晶体管模块基板,激光二极管安装基板,IC封装。此外,由于其对卤素气体的优异耐腐蚀性,它还能作为半导体制造设备的零部件使用。

产品详情

材料性能 MATERIAL PROPERTIES


氮化硅瓷片 Si3N4 Ceramic


氮化铝瓷片 AlN Ceramic

 


铜层 Copper


常规物性 GENRAL PROPERTIES


厚度组合-氮化硅 Si3N4 Thickness combination

 


厚度组合-氮化铝 AlN Thickness combination


常规尺寸  Regular size

 


翘曲 Warpage

翘曲度与产品尺寸、定制化蚀刻线路及正反面铜层覆盖情况等多种因素有关,需要在样品交付后,同客户双方商定。


AMB覆铜板性能 AMB SUBSTRATE PROPERTIES


耐温特性 Temperature resistance characteristics

项目Items

氮化硅Si3N4

氮化铝AlN

铜层、化学镀层Electroless plating 

460±10℃,5min

460±10℃,5min

阻焊层Solder mask

320℃,60sec

280℃,60sec


温度循环 Temperature cycle

项目Items

氮化硅Si3N4

氮化铝AlN

温度冲击 Temperature

>3000次(-55℃/150℃,0.32mmSi3N4 /0.3Cu铜层不剥离)

>300次(-55℃/150℃,0.63mmAlN /0.3Cu铜层不剥离)


空洞率(超声波扫描) Void content(C-SAM)

空洞率≤1%


剥离强度 Void content(C-SAM)

剥离强度≥10N/mm(50mm/min@0.32mm SI3N4/0.3Cu)

剥离强度≥6N /mm(50mm/min@0.63mm AlN/0.3Cu)


焊接润湿性 Solder wettability

焊接润湿>95%


设计特征 DESSIGN FEATURES


厚度公差  Thickness tolerance


蚀刻公差  Etching tolerance


线宽线距  Line width line spacing


铜自由区  Copper free area


正背面对位公差  Copper free area


蚀刻因子  Etching factor


陶瓷崩边  Chip-off at ceramic edge


表面粗糙度  Surface roughness

项目Items

单位Unit

氮化硅Si3N4/氮化铝AlN

表面粗糙度Surface roughness

μm

Ra≤1.5μm;Rz≤10μm;Rmax=50μm


铜层表面处理 Copper surface treatment

项目Items

厚度Thickness

Ni

2.00~8.00μm

Ni-Au

2.00~8.00μm/0.01~0.15μm

Ni-Pd-Au

2.00~8.00μm/0.01~0.1μm/0.01~0.15μm

Ag

0.10~1.00μm


阻焊 Solder mask

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